Моделирование процессов газообмена в пористом пространстве между поверхностью металлокерамических плат и огнеупорной оснасткой в условиях высокотемпературного спекания
Проведено моделирование процессов конвекции и диффузии примесей в формир-газе в процессах высокотемпературного спекания керамических изделий. Для описания изотермического фильтрационного движения газа в пористом пространстве использована модель Лейбензона. Определены стационарные поля давления, концентрации паров металлов и модуля скорости движения смеси газов в пористом пространстве между шероховатой пластиной и поверхностью корпуса микросхемы.
Ключевые слова
математическое моделирование, газообмен, фильтрация газа, диффузия примесей, пористостьАвторы
| ФИО | Организация | Дополнительно | |
| Жуков Илья Александрович | Томский государственный университет | доктор технических наук, доцент, заведующий лабораторий нанотехнологий металлургии | zhukoviatsu@yandex.ru |
| Крайнов Алексей Юрьевич | Томский государственный университет | доктор физико-математических наук, профессор, заведующий кафедрой математической физики | akrainov@ftf.tsu.ru |
| Моисеева Ксения Михайловна | Томский государственный университет | доктор физико-математических наук, доцент, профессор кафедры математической физики | moiseeva_km@t-sk.ru |
| Ермолаев Евгений Валерьевич | АО «Завод полупроводниковых приборов»; Марийский государственный университет | кандидат технических наук, заместитель главного конструктора по новым разработкам; старший преподаватель | ermolaev_ev@zpp12.ru |
| Егошин Валерий Алексеевич | АО «Завод полупроводниковых приборов»; Марийский государственный университет; Томский государственный университет | заместитель главного конструктора по материалам; старший преподаватель; аспирант | vaegoshin@zpp12.ru |
| Шугаепов Шамиль Наилевич | АО «Завод полупроводниковых приборов»; Марийский государственный университет; Томский государственный университет | директор по развитию; старший преподаватель; аспирант | shnshugaepov@zpp12.ru |
| Ахметгалиев Равил Шамилевич | АО «Завод полупроводниковых приборов»; Томский государственный университет | главный технолог; аспирант | rshahmetgaliev@zpp12.ru |
Ссылки
Моделирование процессов газообмена в пористом пространстве между поверхностью металлокерамических плат и огнеупорной оснасткой в условиях высокотемпературного спекания | Вестник Томского государственного университета. Математика и механика. 2025. № 97. DOI: 10.17223/19988621/97/6
Вы можете добавить статью