Влияние плазменного травления на порог оптического пробоя нелинейных кристаллов ZnGeP2 в области длин волн ~ 2.1 мкм
Проведены исследования влияния плазменной очистки поверхности на оптическую стойкость монокристаллического ZnGeP2, было установлено изменение порога оптического пробоя при различных параметрах плазменной очистки поверхности кристаллов. При воздействии низкотемпературной плазмы в атмосфере с концентрацией электронов 1014-1015 см-3 при напряжении 13-20 кВ и частоте следования импульсов 50-100 Гц на полированную поверхность ZnGeP2 в течение 500 000 импульсов с длительностью ~ 40 нс наблюдается увеличение порога оптического пробоя образцов на 30%.
Ключевые слова
оптический пробой, ZnGeP2, параметрические генераторы светаАвторы
ФИО | Организация | Дополнительно | |
Юдин Николай Николаевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | к.ф.-м.н., директор НОЦ ОФТ; зам. директора по науке | rach3@yandex.ru |
Соснин Эдуард Анатольевич | Институт сильноточной электроники СО РАН | д.ф.-м.н., ст. науч. сотр. | badik@loi.hcei.tsc.ru |
Белоплотов Дмитрий Викторович | Институт сильноточной электроники СО РАН | к.ф.-м.н., науч. сотр. | rff.qep.bdim@gmail.com |
Сорокин Дмитрий Алексеевич | Институт сильноточной электроники СО РАН | к.ф.-м.н., ведущ. науч. сотр., зав. лабораторией оптических излучений | sdma-70@loi.hcei.tsc.ru |
Кузнецов Владимир Сергеевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | к.ф.-м.н., науч. сотр.; инженер | robert_smith_93@mail.ru |
Антипов Олег Леонидович | Институт прикладной физики РАН | д.ф.-м.н., ведущ. науч. сотр. | antipov@ipfran.ru |
Слюнько Елена Сергеевна | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | аспирант, мл. науч. сотр.; начальник ОТК | elenohka266@mail.ru |
Зиновьев Михаил Михайлович | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | мл. науч. сотр.; оптик | muxa9229@gmail.com |
Подзывалов Сергей Николаевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | аспирант, мл. науч. сотр.; зам. начальника по инновациям | cginen@yandex.ru |
Кальсин Андрей Юрьевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | аспирант; технолог | andrejkalsin@gmail.com |
Габдрахманов Акмаль Шамилович | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | аспирант; оптик | realist98937@mail.ru |
Лысенко Алексей Борисович | Национальный исследовательский Томский государственный университет; ООО «Лаборатория оптических кристаллов» | аспирант, мл. науч. сотр.; ведущ. химик | festality@yandex.ru |
Кулеш Максим Матвеевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет | студент | dv472@mail.ru |
Ссылки

Влияние плазменного травления на порог оптического пробоя нелинейных кристаллов ZnGeP2 в области длин волн ~ 2.1 мкм | Известия вузов. Физика. 2025. № 5. DOI: 10.17223/00213411/68/5/7