Немонотонная зависимость плотности плазмы от давления газа магнетронного разряда с мишенью из бора

Представлены результаты исследований магнетронного разряда с мишенью из бора при постоянном токе уровня 50 мА и давлении рабочего газа в диапазоне 0.1-2 мТорр. Экспериментально показано, что как в случае мишени из бора, так и в контрольных экспериментах с мишенью из меди наблюдается немонотонная зависимость плотности плазмы разряда от давления с минимумом плотности в области давления около 0.3 мТорр. Сделан вывод, что такая немонотонная зависимость обусловлена влиянием двух противоположных тенденций: уменьшения ионизации газа при снижении давления с 1.2 до 0.3 мТорр, при котором значительных изменений параметров разряда еще не происходит, и роста ионизации за счет повышения энергии и количества γ-электронов с катода (мишени), а также температуры электронов плазмы при резком увеличении напряжения горения разряда при дальнейшем снижении давления от 0.3 до 0.1 мТорр.

Ключевые слова

Авторы

Ссылки