Влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент ионного распыления: сравнение с теорией Зигмунда | Известия вузов. Физика. 2025. № 7. DOI: 10.17223/00213411/68/7/13

Влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент ионного распыления: сравнение с теорией Зигмунда

Исследовано влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент распыления. Показано, что чем большее количество атомов окружения возле эмитируемого атома учитывается, тем выше коэффициент распыления по сравнению с предсказанием классической теории распыления Зигмунда. Увеличение вероятности распыления и коэффициента распыления на ~ 40% связано с увеличением числа рассеивающих центров, на которых происходит рассеяние эмитируемого атома с отклонением в сторону нормали к поверхности, вследствие этого возрастает число распыленных эмитируемых атомов, преодолевших плоский потенциальный барьер. Результат показывает, что эффект надповерхностного рассеяния вносит значительный вклад в распыление.

Ключевые слова

ионное распыление, теория Зигмунда, поверхностные модели распыления, молекулярная динамика, коэффициент распыления, плоский потенциальный барьер

Авторы

ФИООрганизацияДополнительноE-mail
Мусин Артем ИгоревичВятский государственный университет; Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»к.ф.-м.н., доцент; доцентai.musin@physics.msu.ru
Самойлов Владимир НиколаевичМосковский государственный университет им. М.В. Ломоносовак.ф.-м.н., доцентsamoilov@polly.phys.msu.ru
Всего: 2

Ссылки

Sigmund P. // Phys. Rev. - 1969. - V. 184. - No. 2. - P. 383-416. - DOI: 10.1103/PhysRev.184.383.
Garrison B.J., Winograd N., Lo D., et al. // Surf. Sci. - 1987. - V. 180. - No. 2-3. - P. L129-133. - DOI: 10.1016/0039-6028(87)90212-3.
Самойлов В.Н., Мусин А.И. // Известия РАН. Сер. физич. - 2018. - Т. 82. - № 2. - С. 171-176. - DOI: 10.7868/S0367676518020084.
Voevodin Vl.V., Antonov A.S., Nikitenko D.A., et al. // Supercomputing Frontiers and Innovations. - 2019. - V. 6. - No. 2. - P. 4-11. - DOI: 10.14529/jsfi190201.
 Влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент ионного распыления: сравнение с теорией Зигмунда | Известия вузов. Физика. 2025. № 7. DOI: 10.17223/00213411/68/7/13

Влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент ионного распыления: сравнение с теорией Зигмунда | Известия вузов. Физика. 2025. № 7. DOI: 10.17223/00213411/68/7/13