Модификация проводящих и структурных свойств CVD-графена с использованием магнетронного разряда | Известия вузов. Физика. 2026. № 2. DOI: 10.17223/00213411/69/2/3

Модификация проводящих и структурных свойств CVD-графена с использованием магнетронного разряда

Исследовано влияние мощности, давления и времени напыления процесса магнетронного распыления на изначальные свойства графена, полученного методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). Получены композиты олово - графен путем напыления оловянного покрытия толщиной 5 нм на CVD-графен. Давление рабочего газа варьировалось от 1 до 8 Па, мощность на мишени - от 4 до 16 Вт. Полученные материалы были охарактеризованы с помощью сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Определено сопротивление графена до и после напыления. По результатам анализа структурных и электропроводящих свойств определена возможность получения композита без значительного изменения структурных свойств графена. Показано, что на процесс дефектообразования в графене влияют как свойства потока распыленного вещества, задаваемые мощностью и давлением, так и время процесса напыления. Увеличение степени дефектности коррелирует с увеличением времени напыления и уменьшением скорости роста покрытия.

Скачать электронную версию публикации

Ключевые слова

магнетронное распыление, CVD-графен, дефектность графена, композит олово - графен

Авторы

ФИО	Организация	Дополнительно	E-mail
Гареев Тимур Ильясович	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе	инженер-исследователь	t.gareev25@gmail.com
Зайцев Олег Валерьевич	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе; Новосибирский национальный исследовательский государственный университет	инженер-исследователь; студент	o.zaitsev@g.nsu.ru
Нерушев Олег Алексеевич	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе	к.ф.-м.н., ведущ. инженер	oleg.nerushev@gmail.com
Сорокин Дмитрий Владимирович	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе; Новосибирский национальный исследовательский государственный университет	инженер-исследователь; аспирант	d.sorokin@g.nsu.ru
Суляева Вероника Сергеевна	Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН	науч. сотр.	veronica@niic.nsc.ru
Смовж Дмитрий Владимирович	Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе	д.ф.-м.н., зав. лабораторией	d.smovzh@gmail.com

Всего: 6

Ссылки

Singh V. et al. // Prog. Mater. Sci. - 2011. - V. 56. - No. 8. - P. 1178-1271. - DOI: 10.1016/j.pmatsci.2011.03.003.

Liu L. et al. // J. Mater. Sci. Technol. - 2015. - V. 31. - No. 6. - P. 599-606. - DOI: 10.1016/j.jmst.2014.11.019.

Wu Q.-H., Li J., Sun S.-G. // Current. Nanosci. - 2010. - V. 6. - No. 5. - P. 525-538. - DOI: 10.2174/157341310797574934.

Lv C. et al. // Nanomaterials. - 2019. - V. 9. - No. 3. - P. 422. - DOI: 10.3390/nano9030422.

Гареев Т.И. и др. // Изв. вузов. Физика. - 2024. - Т. 67. - № 12. - С. 99-108. - DOI: 10.17223/00213411/67/12/13.

Malard L.M. et al. // Phys. Rep. - 2009. - V. 473. - No. 5-6. - P. 51-87. - DOI: 10.1016/j.ssc.2009.02.045.

Cançado L.G. et al. // 2D Mater. - 2017. - V. 4. - No. 2. - P. 025039. - DOI: 10.1088/2053-1583/aa5e77.

Pliatsikas N. et al. // Appl. Surf. Sci. - 2021. - V. 566. - P. 150661. - DOI: 10.1016/j.apsusc.2021.150661.