Теплопроводность объемных наноструктурированных образцов твердого раствора Bi85Sb15
Для выяснения механизма переноса тепловой энергии в объемно наноструктурированных образцах твердого раствора Bi85Sb15 получены экструдированные образцы этого материала из порошка кристалликов (зерен) с размерами не более 2×105, 950, 650, 380, 30 и 15 нм, исследована их теплопроводность в интервале ~ 80-300 К. Были рассмотрены образцы, не прошедшие послеэкструзионный отжиг, и эти же образцы, прошедшие отжиг в вакууме при ~ 503 К в течение 2 ч. Определены решеточные (χр) и электронные (χэ) составляющие теплопроводности. Показано, что в исследованных образцах при низких температурах теплопроводность, в основном, осуществляется колебаниями решетки (примерно до 85%), а при ~ 300 К - электронами проводимости (примерно до 64%). При температурах ~ 80 К с уменьшением размеров зерен χэ растет, а χр несколько падает, что вызвано ростом концентрации носителей тока и усилением рассеяния фононов на границах зерен. Предложенные объяснения подтверждаются и измерениями электрических параметров изученных образцов.
Thermal conductivity of bulk nanostructured Bi85Sb15 solid solution samples.pdf Введение Твердые растворы систем Bi-Sb являются наиболее эффективными материалами для создания различных низкотемпературных термо- и магнитотермоэлектрических преобразователей энергии [1-4]. Особенно перспективными в этом направлении являются высокопрочные экструдированные материалы на основе этих систем [5-8]. Метод имеет большую производительность и открывает широкие возможности для профилирования ветвей термоэлементов [9-14] и получения однород-ной матричной микроструктуры [15]. Термоэлектрическое охлаждение - это лучшее техническое решение для задач понижения температуры и термостабилизации элементов микроэлектроники, оптоэлектроники и светотехники. Термоэлектрические мелкозернистые материалы механически более прочны, чем материалы, полученные кристаллизацией из расплава, а увеличение термоэлек-трической эффективности в них можно достичь за счет уменьшения решеточной теплопроводно-сти в результате возрастания рассеяния фононов на границах зерен [16, 17]. Актуальной задачей термоэлектричества является поиск соответствующих термоэлектрических материалов, которые должны иметь высокую термоэлектрическую эффективность (добротность) Z = α2σ/κ, где σ, α и - коэффициенты электропроводности, термоЭДС и теплопроводности соответственно [18]. Для по-лучения материала с необходимыми параметрами следует установить закономерности влияния со-става, режима получения, размера зерен, легирования, концентрации носителей заряда и условия рассеяния электронов и фононов, приводящие к достаточно высокому отношению подвижности носителей тока к решеточной теплопроводности (µχр), что непосредственно влияет на термоэлек-трическую эффективность материала. Термоэлектрические свойства образцов различных составов на основе систем Bi-Sb исследо-ваны неоднократно. Однако работы по изучению закономерностей влияния размеров зерен (осо-бенно в области наноразмеров) на тепловые и электрические параметры этих кристаллов практи-чески отсутствуют. С уменьшением размеров зерен в транспортных свойствах начинают проявлять себя гранич-ные эффекты, в том числе процессы рассеяния фононов и электронов на границах зерен [19]. Вы-сокопрочные экструдированные материалы на основе Bi-Sb наиболее интересны с точки зрения возможного повышения их термоэлектрической добротности при наноструктурировании. Общая теплопроводность полупроводников, применяемых в термоэлектричестве, в области ни-же 300 К обусловлена, в основном, переносом тепловой энергии фононами и электронами прово-димости [18]. В свою очередь, обе эти составляющие теплопроводности чувствительны к структуре образца и содержанию дефектов в нем [20-25]. Выяснено, что послеэкструзионный отжиг приводит к уменьшению плотности дислокации и концентрации дефектов в образцах систем Bi-Sb [26]. Учитывая вышесказанное, в данной работе с целью выяснения механизма переноса тепловой энергии в объемно наноструктурированных образцах твердого раствора Bi85Sb15 получены экструди-рованные образцы этого состава, состоящие из кристалликов (зерен) с размерами не более 2105, 950, 650, 380, 30 и 15 нм, исследована их теплопроводность в интервале 80-300 К до и после отжига. Экспериментальная часть Синтез состава Bi85Sb15 производился прямым сплавлением компонентов в соответствующей стехиометрии в кварцевой ампуле, предварительно протравленной в растворе «хромпик» и про-мытой дистиллированной водой. Ампула откачивалась до остаточного давления ~ 10-2 Па и отпаи-валась. В качестве исходных компонентов использовали висмут марки «Ви-000» и сурьму марки «Су-0000». Синтез производился при температуре ~ 673 К в течение 2 ч. Для хорошей гомогени-зации сплава печь с ампулой подвергалась качанию. Затем вещество охлаждалось (опусканием ампулы в воду) до комнатной температуры. Наноразмерные частицы твердого раствора Bi85Sb15 были получены с использованием шаро-вой мельницы марки АГО-2 (мельница-активатор), ускорение мелющих шаров 1000 м/с2, питание переменное, трехфазное - 380 В. Контейнер (стаканы) шаровой мельницы из оксида циркония вращаются в проточной воде, схема их движения показана на рис. 1 [17]. Шары выполнены из ста-ли ШХ-15. Отношение веса шаров к весу обрабатываемого порошка 20:1. Использовался исход-ный синтезированный материал твердого раствора Bi85Sb15. Полученный порошок извлекают в защитной среде и помещают в контейнер для прессования. Размер частиц в порошке изменялся с изменением времени дробления исходного материала в мельнице. Средние размеры частиц в по-рошке определялись на рентгеновской установке XRD D8 ADVANCE («Bruker», Germany) с ис-пользованием формулы Sherrer [27, 28] и имели размеры ≤ 2105, 950, 650, 380, 30 и 15 нм. Изго-товленный образец подвергался рентгенофазовому анализу (РФА) и исследовался методом скани-рующей ультразвуковой микроскопии. По данным РФА, средний размер частиц полупроводника оценивался по уширению рентгеновских линий (размерам областей когерентного рассеяния). Раз-меры частиц в порошке также определялись с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ), при этом были получены аналогичные размеры, как и на рентгеновской установке XRD D8 ADVANCE. Рис.1. Контейнер шаровой мельницы (а) и схема движения в ней (б). Внешний диаметр цилиндра (а) составляет 50 мм [17] Для оценки роли примесей железа, введенных в порошок Bi85Sb15 в результате обработки в мельнице со стальными шарами, изготовлены и контрольные порошки с размерами частиц ≤ 650, 30 и 15 нм с применением фарфоровой ступки. Из порошков твердого раствора Bi85Sb15 прессовались брикеты диаметром ~ 30 мм, удобные для экструзии. Прессование велось при комнатной температуре и давлении ~ 3.5 т/см2. Экструзия проводилась на гидравлическом прессе МС-1000 с диаметра 30 мм на диаметр 6 мм с применени-ем специальной оснастки. Технологические параметры процесса экструзии (температура, давле-ние, скорость вытяжки и др.) выбирали такими, чтобы формирование наноструктурированных прутков проходило в условиях сверхпластичности без макро- и микронарушений. Из различных наноструктурированных экструдированных прутков методом электроискровой резки вырезались образцы для исследования в виде прямоугольных параллелепипедов с размерами 3512 мм. Образующийся на поверхности образцов при резке нарушенный слой удаляли элек-трохимическим травлением в растворе KОН+С4Н4О6+Н2О. Отжиг образцов проводился в откачан-ных до давления ~ 10-1 Па кварцевых ампулах при температуре ~503 К в течение 2 ч. Для вычисления электронной и фононной частей теплопроводности, а также получения до-полнительных информаций о рассеянии фононов и электронов в образцах параллельно измерению теплопроводности (χ) также были измерены их электропроводность (), коэффициенты термоЭДС () и Холла (RH) в интервале 80-300 К. Электрические параметры и теплопроводность измеряли мето-дом, описанным в [29] вдоль длины образца, т.е. в направлении экструзии. Теплопроводность об-разцов измеряли абсолютным стационарным методом, а электрические параметры - обычным компенсационным методом при постоянном токе. Исследовались образцы, не прошедшие терми-ческую обработку после экструзии, и эти же образцы, прошедшие отжиг. Погрешность при измере-нии электрических параметров и теплопроводности составляла 3-5%. Результаты и их обсуждение Результаты измерений представлены на рис. 2 - 5 и в таблице. При 80 К тепловая энергия в твердом растворе Bi85Sb15, в основном, переносится колебаниями решетки и электронами прово-димости [30-32]. Исходя из этого, по выражениям χр = χ - χэ и χэ = LТ рассчитаны соответственно электронная (χэ) и решеточная (χр) составляющие теплопроводности. Здесь χ - общий, измеренный коэффициент теплопроводности, - коэффициент электропроводности при данной температуре Т, L = A(ke)2 число Лоренца, k - постоянная Больцмана, е - заряд электрона. Значение А оценено из зависимости А от коэффициента термоЭДС [33, 34]. Установлено, что при низких температурах (ниже ~ 200 К) с уменьшением размеров зерен в экструдированных образцах наблюдается рост общей теплопроводности и уменьшение фононной части теплопроводности (р). При этом уменьшение фононной части теплопроводности носит не-монотонный характер, т.е. с уменьшением размера в образцах, не прошедших и прошедших отжиг, фононная часть теплопроводности уменьшается, а потом растет. С уменьшением размеров порош-ков в экструдированных образцах Bi85Sb15 наблюдается рост электропроводности и уменьшение коэффициентов термоЭДС α, Холла RH. Это обусловлено тем, что с уменьшением размеров кри-сталликов растет концентрация границ, которая приводит к росту концентрации электронов и уси-лению рассеяния фононов и электронов в образцах. Аналогичные значения χ, χэ, χр, , α и RH и их зависимости от размеров кристалликов выявле-ны и в образцах, изготовленных из порошков, полученных с применением фарфоровых ступок. Рис. 2. Температурные зависимости общей теплопроводности (a - образцы, не прошедшие отжиг и б - об-разцы с отжигом) экструдированных образцов твердого раствора Bi85Sb15 с различными размерами зерен: кр. 1 - 2105 нм; кр. 2 - 950 нм; кр. 3 - 650 нм; кр. 4 - 380 нм; кр. 5 - 30 нм; кр. 6 - 15 нм Рис. 3. Зависимости электронной (1 и 2) и решеточной (1' и 2' ) составляющих теплопроводности при 80 К от размера зерен экструдрированных образцов твердого раствора Bi85Sb15 до (1 и 1' ) и после отжига (2 и 2') Рис. 4. Зависимости числа Лоренца в образцах твердого рас-твора Bi85Sb15 при 80 К от размера зерен до (1) и после от-жига (2) Рис. 5. Зависимости подвижности носителей тока в образцах твердого раствора Bi85Sb15 при 80 К от размера зерен до (1) и после отжига (2) Электрические и тепловые параметры наноструктурированных экструдированных образцов твердого раствора Bi85Sb15 с различными размерами зерен Раз-мер зе-рен, нм Не прошедшие отжиг Прошедшие отжиг при 80 К при 300 К при 80 К при 300 К , (Ом-1∙см-1) , мкВ/К χ, Вт/(cмК) χэ, Вт/(cмК) χр, Вт/(cмК) µ, см2/(Вс) n, см-3 , (Ом-1∙см-1) , мкВ/К χ, Вт/(cмК) χэ, Вт/(cмК) χр, Вт/(cмК) µ, см2/(Вс) n, см-3 , (Ом-1∙см-1) , мкВ/К χ, Вт/(cмК) χэ, Вт/(cмК) χр, Вт/(cмК) µ, см2/(Вс) n, см-3 , (Ом-1∙см-1) , мкВ/К χ, Вт/(cмК) χэ, Вт/(cмК) χр, Вт/(cмК) µ, см2/(Вс) n, см-3 2105 3659 -132 3.48 0.5 2.98 31833 0.71018 6603 -92 5.5 3.5 2.0 5282 7.81018 4644 -164 4.18 0.64 3.54 54799 0.51018 6315 -93 5.34 3.4 1.94 6820 5.81018 950 5067 -31 3.88 0.6 3.28 6080 5.21018 5630 -78 3.98 3.0 0.98 4560 7.81018 7882 -15 4.43 1.1 3.33 9458 5.21018 5707 -55 4.85 3.0 1.85 2283 15.61018 650 7565 -28 4.09 1.0 3.09 3026 15.61018 5513 -71 3.4 2.9 0.5 2896 11.71018 7409 -13 4.41 1.02 3.39 14966 3.11018 4301 -48 3.34 2.3 1.04 10322 2.61018 400 10970 -42 3.43 1.5 1.93 5485 12.51018 5200 -76 3.42 2.8 0.62 3291 10.41018 15822 -17 4.34 2.2 2.14 6329 15.61018 7911 -55 4.43 4.2 0.23 1582 31.31018 32 10849 -33 3.51 1.49 2.02 4340 15.61018 5424 -80 3.47 2.9 0.57 4339 7.81018 13502 -20 4.58 1.9 2.68 4996 16.91018 6751 -67 5.22 3.6 1.62 3781 11.21018 15 9001 -19 3.98 1.2 2.78 1800 31.31018 4500 -64 4.22 2.4 1.82 1800 15.61018 12296 -16 3.95 1.7 2.25 2213 34.71018 5738 -51 4.0 3.1 0.9 3213 11.21018 По данным RH и была рассчитана холловская подвижность = RH носителей тока. Расчеты показали, что с ростом размеров зерен при термообработке значение m в зависимости -m рас-тет от 1.42-1.57 для образцов, не прошедших отжиг, до 1.81-2.6 для отожженных образцов. Рост RH и μ при 80 К после термообработки, по видимому, связан, главным образом, с изме-нением концентрации дефектов и параметра А, характеризующего механизм рассеяния в выраже-нии RH = А/en [35], где е - заряд электрона, n - концентрация носителей заряда. В образцах, не прошедших термообработку, при температуре 80 К в рассеянии электронов превалирующим является рассеяние на дефектах. Малое изменение , наряду с существенным из-менением при термообработке, дает основание предполагать, что и эти дефекты, в основном, неионизированные. Оптимальным направлением роста монокристаллов систем Bi-Sb является кристаллографи-ческое направление [110] ромбоэдрической ячейки. Однако наибольшее значение параметра тер-моэлектрической добротности, а также электропроводности наблюдается в другом кристаллогра-фическом направлении [111], которое перпендикулярно оптимальному направлению роста моно-кристалла. В этих монокристаллах наиболее совершенной плоскостью является плоскость (111), по которой всегда происходит раскол [36]. При экструзии за счет пластической деформации часть зерен поликристалла ориентируется так, что их тригональная ось становится параллельной оси экструзии, т.е. образуется текстура. Одновременно в результате пластической деформации возникают различные дефекты кри-сталлической решетки в отдельно взятых зернах. При этом указанные структурные дефекты пре-имущественно сосредотачиваются между плоскостями спайности (111). Степень текстуры будет зависеть от технологических параметров процесса экструзии, от размера зерен и послеэкструзион-ной термообработки. При термообработке может возникнуть и разориентация зерен за счет тепло-вой энергии, т.е. изменение степени текстуры экструдированного образца [7, 37]. Наиболее силь-ное уменьшение степени текстуры при отжиге происходит в образцах с наименьшими размерами зерен. С ростом размеров частиц влияние отжига на степень текстуры ослабляется. Можно пред-полагать, что при минимальных размерах зерен в образцах из-за малой энергии, требуемой для ориентации зерен, появляется максимальная текстура в структуре при деформации. Из-за высокой дисперсности среди исследованных образцов образцы с минимальными размерами зерен (d = 15 нм) обладают и высокой концентрацией носителей тока. Дефекты, созданные границами зерен, являются центрами рассеяния для носителей тока и уменьшают их подвижность. Поэтому уменьшение размеров наночастиц приводит к уменьшению подвижности за счет рассеяния элек-тронов на границах наночастиц (рис. 4). В связи с этим степень текстуры при экструзии, рекри-сталлизация и разориентация частиц при термообработке, а также концентрация носителей тока, электрические и тепловые параметры экструдированных образцов твердых растворов зависят от размеров частиц в образце. Отжиг образцов приводит к уменьшению концентрации дефектов внутри зерен и высоты межзеренных потенциальных барьеров за счет рекристаллизации. Поэтому тепловое сопротивле-ние у образцов без отжига больше, чем у отожженных образцов. Из таблицы следует, что рост об-щей теплопроводности образцов Bi85Sb15 с различными размерами зерен после отжига обусловлен, в основном, ростом его электронной составляющей. Полученные экспериментальные результаты по теплопроводности хорошо объясняются ме-ханизмами, разработанными для электрических параметров. Совместный анализ электрических и тепловых параметров экструдированных образцов твер-дых растворов Bi85Sb15 показывает, что в рассеивании фононов в образцах при 80 К превали-рующую роль играет текстура, а электроны при 80 К, в основном, рассеиваются на структурных дефектах. С ростом размеров зерен концентрация структурных дефектов и носителей заряда уменьшается. Уменьшение концентрации структурных дефектов и рост степени текстуры с ростом размеров зерен сопровождается уменьшением электронной части χэ и некоторым ростом фонон-ной части χр теплопроводности. С дальнейшим увеличением размеров зерен, из-за роста поверхно-стной энергии зерен, степень текстуры в образцах при деформации несколько уменьшается. Одно-временно ослабляется и зависимость решеточной составляющей теплопроводности от размера зе-рен. При термообработке происходит частичное разрушение текстуры и «залечивание» структур-ных дефектов, что приводит к уменьшению концентрации носителей заряда тока, и решеточная теплопроводность при этом растет. Заключение На основе полученных экспериментальных данных по температурной зависимости общей те-плопроводности и электрических параметров в экструдированных образцах твердого раствора Bi85Sb15 с размерами кристалликов (зерен) от 15 до 2105 нм в интервале 80-300 К установлено, что: - теплопроводность в этих материалах осуществляется, в основном, колебаниями решетки и электронами проводимости. При этом при низких температурах превалирующим является реше-точная составляющая, а при ~ 300 К - электронная составляющая теплопроводности; - при температурах ~ 80 К (в области температур, в которой фононы существенно рассеива-ются и на структурных дефектах) с уменьшением размеров зерен из-за роста количества дефектов, созданных границами зерен, χэ растет, а χр несколько падает, что вызвано увеличением концентра-ции носителей тока и усилением рассеяния фононов на границах зерен. Это подтверждается и из-мерениями электрических параметров изученных образцов.
Ключевые слова
экструзия,
размер зерна,
твердый раствор,
теплопроводность,
текстураАвторы
Тагиев Маил Масим оглы | Азербайджанский государственный экономический университет; Институт физики Национальной академии наук Азербайджана | д.ф.-м.н., профессор АГЭУ | mail_tagiyev@mail.ru |
Абдинова Гюллю Джавад гызы | Институт физики Национальной академии наук Азербайджана | к.ф.-м.н., доцент ИФ НАНА | abdinova72@bk.ru |
Абдуллаева Илаха Адил гызы | Институт радиационных проблем Национальной академии наук Азербайджана | докторант Института радиационных проблем НАНА | ilahe.abdullayeva@mail.ru |
Всего: 3
Ссылки
Земсков В.С., Белая А.Д., Бородин П.Г. // Изв. АН СССР. Неорган. материалы. - 1982. - Т. 18. - № 7. - С. 1154-1157.
Грабов В.М., Комаров В.А., Каблукова Н.С. // ФТТ. - 2016. - № 3. - С.605-611.
Иванова Л.Д. // ФТП. - 2017. - Т. 51. - Вып. 7. - С. 948-951.
Степанов Н.П. // Изв. вузов. Физика. - 2004. - Т. 47. - № 3. - С. 33-42.
Банага М.Г., Соколов О.Б., Дудкин Л.Д. // Изв. АН СССР. Неорган. материалы. - 1986. - Т. 22. - № 4. - С. 619-622.
Тагиев М.М., Агаев З.Ф., Абдинов Д.Ш. // Неорган. материалы. - 1994. - Т. 30. - № 3. - С. 375-378.
Тагиев M.M. // Неорган. материалы. - 2021. - Т. 57. - № 2. - С. 119-124.
Тагиев М.М. // Изв. вузов. Физика. - 2017. - Т. 60. - № 10. - С. 131-134.
Тагиев M.M., Джафарова С.З. Ахмедова А.М., Абдинова Г.Д. // Изв. вузов. Физика. - 2019. - Т. 62. - № 3. - С. 104-109.
Иванова Л.Д., Петрова Л.И., Гранаткина Ю.В. и др. // Неорган. материалы. - 2008. - Т. 44. - № 7. - С. 789-793.
Сидоренко Н.А., Дашевский З.М. // ФТП. - 2019. - T. 53. - Вып. 5. - С. 693-697.
Zemskov V.S., Belaya A.D., Beluy U.S., Kozhemyakin G.N. // J. Cryst Crowth. - 2000. - V. 212 (1). - P. 161-166.
Иванова Л.Д., Петрова Л.И., Гранаткина Ю.В. и др. // Неорган. материалы. - 2008. - Т. 44. - № 7. - С. 789-793.
Иванова Л.Д., Петрова Л.И., Гранаткина Ю.В. и др. // Неорган. материалы. - 2009. - Т. 45. - № 2. - С. 159-164.
Wu H., Shan Z., Fan J., et аl. // Mater. Sci. Technol. - 2021. - V. 37(3). - P. 269-279.
Булат Л.П., Драбкин И.А., Каратаев В.В. и др. // ФТТ. - 2010. - Т. 52. - Вып. 9. - C. 1712-1716.
Булат Л.П., Бочков Л.В., Нефедова И.А., Ахыска Р. // Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. - 2014. - № 4(92). - С. 48-56.
Иоффе А.Ф. Полупроводниковые термоэлементы. - М.-Л.: АН СССР, 1960. - 180 с.
Бархалов Б.Ш. Тагиев М.М., Багиева Г.З. и др. // Изв. вузов. Физика. - 2019. - Т. 62. - № 4. - С. 94-101.
Dresselhaus M.S., Chen G., Tang M.Y., et al. // Adv. Mater. - 2007. - V. 19. - P.1043-1053.
Harman T.C., Taylor P.J., Spears D.L., Walsh M.P. // J. Electron Mater. - 2000. - V. 297. L 1-4. 12.
Bulat L.P., Osvencky V.B., Pivovarov G.I., et al. // Proc. VI Eur. Conf. on Thermoelectrics. - 2008. - P. 12-14.
Mzerd A., Aboulfarah B., Giani A. et аl. // J. Mater. Sci. - 2006. - V. 41. - No. 5. - P. 1659.
Гольцман Б.М., Иконникова Т.Н., Кутасов В.А. // ФТТ. - 1985. - Т. 27. - Вып. 2. - С. 542-545.
Гусев А.И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. - М.: Физматлит, 2005.
Самедов Ф.С., Тагиев М.М., Абдинов Д.Ш. // Неорган. материалы. - 1998. - Т. 34. - № 7. - С. 847-850.
Хейкер Д.М., Зевин Л.С. Рентгеновская дифрактометрия. - М.: Физматгиз, 1963. - 380 с.
Singh A.K. (ed.). Advanced X-ray Techniques in Research and Industries. - Ios. Pr. Inc., 2005.
Охотин А.С., Пушкарский А.С., Боровикова Р.П., Смирнов В.А. Методы измерения характеристик термоэлектрических материалов и преобразователей. - М.: Наука, 1974. - 168 с.
Земсков В.С., Бородин П.Г., Белая А.Д., Рослов С.А. Явления переноса в висмуте и твердых растворах висмут - сурьма. - ВИНИТИ, Москва, Институт металлургии им А.А. Байкова АН СССР, 1978. - 52 с.
Тагиев M.M. Агаев З.Ф., Абдинов Д.Ш. // Неорган. материалы. - 1994. - Т. 30. - № 6. - С. 776-778.
Агаев З.Ф., Тагиев M.M., Абдинова Г.Д. и др. // Неорган. материалы. - 2008. - Т. 44. - № 2. - С. 137-139.
Оскотский В.С., Смирнов И.А. Дефекты в кристаллах и теплопроводность. - Л.: 1972, 160 с.
Рагимов С.С., Саддинова А.А., Алиева А.И. // Изв. вузов. Физика. - 2019. - Т. 62. - № 6. - С. 139-143.
Киреев П.С. Физика полупроводников. - М.: Высшая школа, 1975. - 584 с.
Земсков В.С., Белая А.Д. Исследование влияния условий выращивания монокристаллов из расплавов на структуру и свойства твердых растворов на основе висмута с сурьмой. - ВИНИТИ, Москва, Институт металлургии им. А.А. Байкова, 1981. - 20 с.
Berger O. // Surface Engineering. - 2020. - V. 36(3). - P. 225-267.