Влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент ионного распыления: сравнение с теорией Зигмунда

Исследовано влияние атомов поверхности грани (001) Au на коэффициент распыления. Показано, что чем большее количество атомов окружения возле эмитируемого атома учитывается, тем выше коэффициент распыления по сравнению с предсказанием классической теории распыления Зигмунда. Увеличение вероятности распыления и коэффициента распыления на ~ 40% связано с увеличением числа рассеивающих центров, на которых происходит рассеяние эмитируемого атома с отклонением в сторону нормали к поверхности, вследствие этого возрастает число распыленных эмитируемых атомов, преодолевших плоский потенциальный барьер. Результат показывает, что эффект надповерхностного рассеяния вносит значительный вклад в распыление.

Ключевые слова

Авторы

Ссылки