Влияние процесса формирования анортитных включений на фазовый состав, структуру и физические свойства корундовой керамики | Известия вузов. Физика. 2025. № 11. DOI: 10.17223/00213411/68/11/14

Влияние процесса формирования анортитных включений на фазовый состав, структуру и физические свойства корундовой керамики

Исследование направлено на изучение процессов формирования анортитных включений в темной и белой корундовой керамике, используемой для применения в металлокерамических корпусах интегральных схем. Показаны возможные причины возникновения анортита в структуре керамики и какую роль при этом играет циркон. Было предложено: исключение из состава шихты цирконового концентрата, введение карбоната магния (MgCO3) и корректировка содержания CaCO3. Анализ микроструктуры, фазового состава и физических свойств подтвердил снижение пористости, исчезновение анортита и повышение плотности. Результаты демонстрируют перспективность модифицированных керамик для микроэлектроники.

Скачать электронную версию публикации

Загружен, раз: 2

Ключевые слова

анортит, оксид алюминия, диэлектрическая керамика, пористость, размер зерна

Авторы

ФИО	Организация	Дополнительно	E-mail
Григорьев Михаил Владимирович	Национальный исследовательский Томский государственный университет	к.т.н., ст. науч. сотр. лаборатории нанотехнологий металлургии	mvgrigoriev@yandex.ru
Егошин Валерий Алексеевич	Национальный исследовательский Томский государственный университет; АО «Завод полупроводниковых приборов»	аспирант; зам. главного конструктора по новым материалам	vaegoshin@zpp12.ru
Ахмадиева Анастасия Алексеевна	Национальный исследовательский Томский государственный университет	аспирант, мл. науч. сотр. лаборатории нанотехнологий металлургии	nas99.9@yandex.ru
Савченко Николай Леонидович	Национальный исследовательский Томский государственный университет	д.т.н., ведущ. науч. сотр. лаборатории нанотехнологий металлургии	savnick@ispms.ru
Ермолаев Евгений Валерьевич	АО «Завод полупроводниковых приборов»	зам. главного конструктора по новым разработкам	ermolaev_ev@zpp12.ru
Ахметгалиев Равил Шамилевич	Национальный исследовательский Томский государственный университет; АО «Завод полупроводниковых приборов»	аспирант; главный технолог	rshahmetgaliev@zpp12.ru
Шугаепов Шамиль Наилевич	Национальный исследовательский Томский государственный университет; АО «Завод полупроводниковых приборов»	аспирант; директор по развитию	shnshugaepov@zpp12.ru
Жуков Илья Александрович	Национальный исследовательский Томский государственный университет	д.т.н., доцент, зав. лабораторией нанотехнологий металлургии	gofra930@gmail.com

Всего: 8

Ссылки

Хоанг В.В., Немчинова Н.В // Теория и технология металлургического производства. - 2022. - Т. 40. - № 1. - С. 4-11.

He L., Xia G., Yang D. // J. Alloys Compd. - 2013. - V. 556. - P. 12-19. - DOI: 10.1016/j.jallcom.2012.12.126.

Osborn E.F., Muan A. Phase Equilibrium Diagrams of Oxide Systems. - First ed. - Edward Orton, USA, 1960.

Marques V.M.F., Tulyaganov D.U., Agathopoulos S., et al. // J. Eur. Ceram. Soc. - 2006. - V. 26. - P. 2503-2510. - DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2005.07.055.

Gorelova L.A., Vereshchagin O.S., Bocharov V.N., et al. // Geosci. Front. - 2023. - V. 14. - No. 1. - P. 101458.

Zolotarev A.A., Krivovichev S.V., Panikorovskii T.L., et al. // Minerals. - 2019. - V. 9. - P. 570. - DOI: 10.3390/min9100570.

Толкачева А.С., Павлова И.А. Технология керамики для материалов электронной промышленности: учеб. пособие: В 2 ч. Ч. 1. - Екатеринбург: Изд-во Урал. ун-та, 2019. - 124 с.

Wahsh M.M.S., Khattab R.M., Awaad M. // Mater. Design. - 2012. - V. 41. - P. 31-36. - DOI: 10.1016/j.matdes.2012.04.040.

Усов П.Г., Соломатина Э.П. // Известия ТПУ. - 1977. - URL: https://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-vliyaniya-dobavok-na-kinetiku-vzaimodeystviya-tsirkona-s-karbonatom-kaltsiya (дата обращения: 05.09.2025).

Ильина В.П., Заверткин А.С. // Геология и полезные ископаемые Карелии. - 2008. - № 11. - С. 239-242.