Численное моделирование отвода летучих компонентов при обжиге металлокерамических корпусов для интегральных микросхем
Проведено численное моделирование процесса удаления летучих компонентов из пористого пространства под керамической платой и из области над керамической платой, прикрытой шероховатой пластинкой-грузиком при обжиге металлокерамических плат. Задача решалась с использованием пакета ANSYS Fluent. В качестве предположения принято, что шероховатость описывается структурированным набором конусов различной высоты. Показано, что увеличение высоты пиков шероховатости приводит к снижению избыточного давления над и под керамической платой.
Ключевые слова
численное моделирование, шероховатость, удаление летучих компонентов, металлокерамические платы, давление газаАвторы
| ФИО | Организация | Дополнительно | |
| Жуков Илья Александрович | Национальный исследовательский Томский государственный университет | д.т.н., доцент, зав. лабораторией нанотехнологий металлургии | zhukoviatsu@yandex.ru |
| Крайнов Алексей Юрьевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет | д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой математической физики | akrainov@ftf.tsu.ru |
| Моисеева Ксения Михайловна | Национальный исследовательский Томский государственный университет | д.ф.-м.н., доцент, профессор кафедры математической физики | moiseeva_km@t-sk.ru |
| Ермолаев Евгений Валерьевич | АО «Завод полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП»); Марийский государственный университет | к.т.н., заместитель главного конструктора по новым разработкам; ст. преподаватель | ermolaev_ev@zpp12.ru |
| Ахметгалиев Равил Шамилевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; АО «Завод полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП») | аспирант; гл. технолог | rshahmetgaliev@zpp12.ru |
| Егошин Валерий Алексеевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; АО «Завод полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП»); Марийский государственный университет | аспирант; заместитель главного конструктора по материалам; ст. преподаватель | vaegoshin@zpp12.ru |
| Шугаепов Шамиль Наилевич | Национальный исследовательский Томский государственный университет; АО «Завод полупроводниковых приборов» (АО «ЗПП»); Марийский государственный университет | аспирант; директор по развитию; ст. преподаватель | shnshugaepov@zpp12.ru |
Ссылки
Численное моделирование отвода летучих компонентов при обжиге металлокерамических корпусов для интегральных микросхем | Известия вузов. Физика. 2025. № 12. DOI: 10.17223/00213411/68/12/17
Вы можете добавить статью