The contribution of the thermoelastic stresses in the surface relief formation mechanism under laser irradiation of semiconductors
The paper considers the influence of elastic stresses arising from pulsed laser irradiation of epitaxial layers of solid solutions CdxHg1-xTe on the formation of periodic relief on their surface as a result of recrystallization of the material melted by radiation.
Download file
Counter downloads: 132
Keywords
импульсное лазерное излучение, полупроводниковый твердый раствор, поверхностная рекристаллизация, термоупругие напряжения, pulsed laser radiation, semiconductor solid solution, surface recrystallization, thermoelastic stressesAuthors
Name | Organization | |
Sredin V.G. | Peter the Grate Military Academy of the RVSN, Balashikha | sredinvg@rambler.ru |
Voitsekhovskii A.V. | National Research Tomsk State University | vav43@mail.tsu.ru |
Sakharov M.V. | Peter the Grate Military Academy of the RVSN, Balashikha | m_sakharov@mail.ru |
Talipov N.Ch. | Peter the Grate Military Academy of the RVSN, Balashikha | niyaz@yandex.ru |
References
Berding M., Srinivasan K., and Sher A. // J. Vac. Sci. Technol. B. - 1990. - V. 9. - No. 3. - P. 1858- 1862.
Sredin V.G., Lanskaya O.G., and Popovnin V.M. // Semiconductors. - 1996. - Т. 30. - № 3. - С. 215-216.
Средин В.Г., Мезин Ю.С., Укроженко В.М. // ФТП. - 2001. - Т. 35. - № 11. - С. 1335-1337.
Chu J. and Sher A. Physics and Properties of Narrow Gap Semiconductors. - Springer, 2008. - 597 p.
Стафеев В.И. Теллуриды кадмия - ртути. Фотоприемники инфракрасного диапазона. Другие приборы. - М.: ФГУП «НПО «Орион». 2011. - 204 с.
Средин В.Г., Укроженко В.М. // ФТП. - 1989. - Т. 23. - № 10. - С. 1762-1766.
Средин В.Г., Сахаров М.В. // Прикладная физика. - 2011. - № 2. - С. 5-11.
Сахаров М.В., Средин В.Г., Астраускас Й.И., Васильева Ю.В. // Изв. вузов. Физика. - 2013. - Т. 56. - № 9/2. - С. 98-101.
Аполлонов В.В., Прохоров A.М., Хомич В.Ю., Четкин С.А. // Квантовая электроника. - 1982. - Т. 9. - № 2. - С. 343-353.
Кугаенко О.М., Сенатулин Б.Р., Карнаух И.М. и др. // Материаловедение. - 2015. - № 5. - С. 3-10.
Голошихин П.В., Миронов К.Е., Поляков А.Я. // Поверхность. Физика, химия, механика. - 1991. - № 12. - С. 12-17.
Гаврилюк О.О., Семенчук О.Ю. // Укр. фiз. журн. - 2017. - Т. 62. - № 1. - С. 20-32.
Ахманов С.А., Емельянов В.Н., Коротеев Н.Н., Семиногов В.Н. // УФН. - 1985. - Т. 147. - № 4. - С. 675-745.
Двуреченский А.В., Кашин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. - М.: Наука, 1982. - 382 с.
The contribution of the thermoelastic stresses in the surface relief formation mechanism under laser irradiation of semiconductors | Izvestiya vuzov. Fizika. 2019. № 6. DOI: 10.17223/00213411/62/6/125
Download full-text version
Counter downloads: 280