Николаев А. Г. , Черкасов А. А. , Окс Е. М. , Шандриков М. В. , Визирь А. В. , Фролова В. П. , Юшков Г. Ю. «Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора» // Известия вузов. Физика 2021. №12 C.3-10
Артамонов И. Д. , Окс Е. М. , Визирь А. В. , Шандриков М. В. , Бугаев А. С. «Аксиальное распределение масс-зарядового состава плазмы магнетронного разряда» // Известия вузов. Физика 2019. №11 C.30-33
Вы можете добавить статью