Properties of a low pressure magnetron discharge under the beam initiation of accelerated ions of emission processes on discharge electrodes
The effect of an ion beam injected along the axis of the anode electrode of a planar magnetron on the ignition of an anomalous low-pressure glow discharge in a magnetron is considered. The characteristics of the discharge ignition at pressures < 8·10-2 Pa and the properties of a planar magnetron upon irradiation of the magnetron cathode by an argon ion beam are determined. It has been established that the discharge ignition voltage decreases with increasing ion energy and threshold depends on the ion beam current. The prospect of expanding the functionality of planar magnetrons by matching the sputtering modes of the central anode with an ion beam and the magnetron cathode by plasma ions of an anomalous glow discharge is shown.
Download file
Counter downloads: 64
Keywords
Authors
| Name | Organization | |
| Semenov A.P. | Institute of Physical Materials Science SB RAS | alexandersemenov2018@mail.ru |
| Semenova I.A. | Institute of Physical Materials Science SB RAS | irene_sem@mail.ru |
| Tsyrenov D.B.-D. | Institute of Physical Materials Science SB RAS | dmitriyzak@mail.ru |
| Nikolaev E.O. | Institute of Physical Materials Science SB RAS | frcjocker@gmail.com |
References
Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. - М.: Радио и связь, 1982. - 72 с.
Белянин А.Ф., Пащенко П.В., Семенов А.П. // ПТЭ. - 1991. - № 3. - С. 220-222.
Райзер Ю.П. Физика газового разряда. - М.: Наука, 1987. - 592 с.
Семенов А.П., Батуев Б.-Ш.Ч. // ПТЭ. - 1991. - № 5. - С. 192-195.
Месяц Г.А. Импульсная энергетика и электроника. - М.: Наука, 2004. - 704 с.
Lee K.J. and Musset А. Preionization aided sputter gun. // Раtеnt 4,716,340 USA. Dec. 29. 1987. 315/111.41 (Н 01 j 7/24).
Семенов А.П. Техника распыления ионными пучками. - Улан-Удэ: Изд-во Бурят. науч. центра СО РАН, 1996. - 120 с.
Семенов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. - Улан-Удэ: Изд-во Бурят. науч. центра СО РАН, 1999. - 207 с.
Семенов А.П. // Сибирский физико-технический журнал. - 1993. - Вып. 6. - С. 68-72.
Семенов А.П., Семенова И.А. // ПТЭ. - 2009. - № 1. - С. 110-114.
Семенов А.П. // ЖТФ. - 2007. - Т. 77. - Вып. 2. - С. 131.
Источники заряженных частиц с плазменным эмиттером / под ред. П.М. Щанина. - Екатеринбург: УИФ Наука, 1993. - 148 с.
Фелдман Л., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. - М.: Мир, 1989. - 344 с.
Левитский С.М. Сборник задач и расчетов по физической электронике. - Киев: Изд-во КГУ, 1964. - 211 с.
Брусиловский Б.А. Кинетическая ионно-электронная эмиссия. - М.: Энергоатомиздат, 1990. - 184 с.
Месяц Г.А., Проскуровский Д.И. Импульсный электрический разряд в вакууме. - Новосибирск: Наука, 1984. - 256 с.
Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел / под ред. Р. Бериша. - М.: Мир, 1984. - 336 с.
Семенов А.П., Цыренов Д.Б.-Д., Семенова И.А. Патент на изобретение № 2649355 RU. - МПК С23С 14/24, 14/06, В82В 3/00, В23В 27/14 // Изобретения. Полезные модели. - 2018. - № 10.
Semenov A.P., Tsyrenov D.B.-D., and Semenova I.A. // Instrum. Exp. Tech. - 2017. - V. 60. - No. 6. - P. 892-895.
Ivanov Yu.F., Koval N.N., Krysina O.V., Baumbach T., et al. // Surf. Coat. Technol. - 2012. - V. 207. - P. 430-434.
