Influence of the electric arc discharge burning on the size of the microdroplets in the nitride coating
Investigates the influence of the conditions and parameters of the synthesis of nitride coatings on their properties, formed by low-pressure discharges in gas-metal beam-plasma formations. The effect of an increased concentration of a gas-metal plasma, the mode (stationary and pulse-periodic) of an arc discharge burning with a cathode spot and the effect of cooling conditions from the target cathode on the number of microdroplets in the TiN coatings on tool steel substrates was studied. The number of microdroplets in the coating is reduced by at least two times when depositing in a pulsed-periodic cathodic-arc discharge and when assisted by an additional gas plasma.
Download file
Counter downloads: 33
Keywords
gas-metal plasma, cathodic-arc deposition, cathode spot, microdroplets, nitride coatingAuthors
| Name | Organization | |
| Savchuk M.V. | Institute of High Current Electronics SB RAS | mixail96@bk.ru |
| Denisov V.V. | Institute of High Current Electronics SB RAS | denisov@opee.hcei.tsc.ru |
| Denisova Yu.A. | Institute of High Current Electronics SB RAS | yudenisova81@yandex.ru |
| Egorov A.O. | Institute of High Current Electronics SB RAS | egorov.ao.work@gmail.com |
| Kovalskiy S.S. | Institute of High Current Electronics SB RAS | kovalskiy_ss@bptvac.ru |
| Yakovlev V.V. | Institute of High Current Electronics SB RAS | vlad000@rambler.ru |
References
Будилов В.В. Интегрированные методы обработки конструкционных и инструментальных материалов с использованием тлеющих вакуумно-дуговых разрядов. - М.: Машиностроение, 2013. - 320 с.
Месяц Г.А. Эктоны: в 3 ч. Ч. 1: Взрывная эмиссия электронов. - Екатеринбург: Наука, 1993.- 184 с.
Bolotov A.V., Kozyrev A.V., Korolev Yu.D. // IEEE Trans. Plasma Sci. - 1995. - V. 23. - No. 6. - P. 884-891.
Kondrateva N.P., Koval N.N., Korolev Yu.D., Schanin P.M. // J. Phys. D: Appl. Phys. - 1999. - V. 32. - P. 699-705.
Духопельников Д.В., Кириллов Д.В., Булычёв В.С. // Все материалы. Энциклопедический справочник. - 2015. - № 12. - С. 18-24.
Лафферти Д. Вакуумные дуги: пер. с англ.; под ред. В.И. Раховского. - М.: Мир, 1982. - 432 с.
Lubenko D.M., Losev V.F., Andreev Yu.M., et al. // Bull. Russ. Acad. Sci.: Physics. - 2019. - V. 83. - No. 3. - P. 256-260.
Anders A. // Surf. Coat. Technol. - 1999. - V. 120-121. - P. 319-330. - DOI: http://dx.doi.org/10.1016/S0257-8972(99)00460-0.
Anders A. // Surf. Coat. Technol. - 1999. - V. 120-121. - P. 319-330. - DOI: 10.1016/S0257-8972(99)00460-0.
Martin P.M. Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings. - Kennewick, WA, United States. Columbia Basin Thin Film Solutions LLC, 2010. - 912 p.
Дороднов А.М. Промышленные плазменные установки: учеб. пособие / под ред. В.И. Хвесюка. - М.: Изд-во МГТУ, 1976. - 130 с.
Денисов В.В., Денисова Ю.А., Варданян Э.Л. и др. // Изв. вузов. Физика. - 2021. - Т. 64. - № 1. - С. 125-129.
Denisov V.V., Akhmadeev Yu.H., Koval N.N., et al. // Phys. Plasmas. - 2019. - V. 26. - P. 123510.
Денисов В.В., Ахмадеев Ю.Х., Коваль Н.Н. и др. // Изв. вузов. Физика. - 2019. - Т. 62. - № 3. - С. 138-142.
Андреев А.А., Саблев Л.П., Шулаев В.М., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые устройства и покрытия. - Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. - 236 с.
